SECONDARY ELECTRON DETECTING DEVICE FOR ELECTRON BEAM TESTER,申请号JP19890330437-传众专利搜索

发明名称	SECONDARY ELECTRON DETECTING DEVICE FOR ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号	JPH03189579(A)	申请公布日期	1991.08.19
申请号	JP19890330437	申请日期	1989.12.20
申请人	FUJITSU LTD	发明人	OKUBO KAZUO
分类号	G01R31/26;G01R31/302	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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