发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH03189548(A) |
申请公布日期 |
1991.08.19 |
申请号 |
JP19890328436 |
申请日期 |
1989.12.20 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIGYO NAOYUKI;FUKUDA SANAE |
分类号 |
G01N27/00;G06G7/00;H01L29/00 |
主分类号 |
G01N27/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|