发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03188677(A) 申请公布日期 1991.08.16
申请号 JP19890327926 申请日期 1989.12.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SATO KAZUO
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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