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发明名称 ABSORBENT TABLE OF WAFERS
摘要
申请公布号 KR910006036(Y1) 申请公布日期 1991.08.16
申请号 KR19880009751U 申请日期 1988.06.24
申请人 SAM SUNG AEROSPACE IND.CO.,LTD. 发明人 SHIN SOON-HEE
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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