发明名称 ROUTING METHOD, ROUTING SYSTEM AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03188650(A) 申请公布日期 1991.08.16
申请号 JP19890327746 申请日期 1989.12.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO YASUO;ITO TAKUJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L27/118 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址