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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03188618(A) 申请公布日期 1991.08.16
申请号 JP19890326058 申请日期 1989.12.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SASAKI TAKAE;IIZUKA JUNICHI;MIENO FUMITAKE
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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