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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03188651(A) 申请公布日期 1991.08.16
申请号 JP19890327634 申请日期 1989.12.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI TOSHIRO
分类号 H01L21/8249;H01L21/82;H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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