| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR ULTRAMICRO ELEMENT ANALYSIS OF THIN FILM SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03188642(A) |
申请公布日期 |
1991.08.16 |
| 申请号 |
JP19890329250 |
申请日期 |
1989.12.18 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
MUKAI TOSHIO;TAKASUKA MASAMI |
| 分类号 |
G01N1/28;G01N1/32;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
