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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON MATERIALSTRUKTUREN IM BEREICH ATOMARER DIMENSIONEN.
摘要
申请公布号 AT66092(T) 申请公布日期 1991.08.15
申请号 AT19870907732T 申请日期 1987.12.07
申请人 LASARRAY HOLDING AG 发明人 STAUFER, URS;WIESENDANGER, ROLAND;ENG, LUKAS;ROSENTHALER, LUKAS;HIDBER, HANS, RUDOLF;GRUETTER, PETER;GUENTHERODT, HANS-JOACHIM
分类号 G03F7/20;G11B5/00;G11B9/00;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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