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发明名称 REGISTRATION OF MASK
摘要
申请公布号 JPH03187212(A) 申请公布日期 1991.08.15
申请号 JP19890326972 申请日期 1989.12.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWAMURA EIICHI
分类号 H01L21/027;H01L21/66 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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