TYNNFILM-ELEKTRISK KOMPONENT.

摘要

En biokompatibel tynnfilmelektrisk komponent er konfigurert for bruk l et menneskelig legeme eller annet lonisk væskemiljø. Et polyimidsubstrat (11) bindes .til en bærerplate (10) av glass som er dimen- sjonert for håndtering av automatisk utstyr og en flerlags metalleder (18) avsettes på substratet og mønstres til å definere en elektrisk krets eller bioavføler. Polyimlden eller glasset etablerer en binding derimellom som motstår håndtering, men som likevel brytes ved bruk av biokompatible frigjørings- midler og teknikker. Polyimidsubstratet og bærerplaten av glass har fortrinnsvis like varmeutvidelsesegen- skaper for å redusere sannsynligheten for brudd og delaminerlngsproblemer under frigjøring av substratet fra bærerplaten. Et isolerende lag (28) dekker metallederen og, i en utførelsesform, er laget av en polyimid som har en herdetemperatur som er lavere enn temperaturen ved hvilken interdlffusjon skjer i metallagene l lederen.