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发明名称 DEVICE FOR PRINTED CIRCUIT BOARD AND INTEGRATED CIRCUIT PHOTOMASK PRODUCTION
摘要
申请公布号 SU1670668(A1) 申请公布日期 1991.08.15
申请号 SU19894672495 申请日期 1989.01.12
申请人 PEROV EVGENIJ P,SU;MESHCHERYAKOV VLADIMIR V,SU;KUKHARENKO LYUDMILA B,SU;AFANASEV BORIS S,SU 发明人 PEROV EVGENIJ P,SU;MESHCHERYAKOV VLADIMIR V,SU;KUKHARENKO LYUDMILA B,SU;AFANASEV BORIS S,SU
分类号 G03B27/32 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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