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发明名称 VALVE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03186338(A) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 JP19890323258 申请日期 1989.12.13
申请人 CANON INC 发明人 OKAMURA NOBUYUKI;YOSHIKAWA TOSHIAKI
分类号 F16K49/00;B01J3/00;B01J3/02;C30B35/00;F16K51/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302 主分类号 F16K49/00
代理机构 代理人
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