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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING HIGH PURITY SILICON NITRIDE BY THE DIRECT REACTION BETWEEN ELEMENTAL SILICON AND NITROGEN-HYDROGEN LIQUID REACTANTS
摘要
申请公布号 GB2209743(B) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 GB19880021956 申请日期 1988.09.19
申请人 * UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY 发明人 ELOISE ANN * PUGAR;PETER ERNEST DAVID * MORGAN
分类号 C01B21/068;C01B21/087 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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