摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist ein einfaches Verfahren und eine Vorrichtung zur Absolutprüfung von Planflächen. Es sieht vor, daß gleichzeitig zwei Planflächen (A6, B6) unter schräger Inzidenz in den Meßstrahlengang eines Interferometers eingebracht werden. Es werden die Interferogramme, die sich bei unterschiedlichen Inzidenzwinkeln (α6, β6) und bei Verschiebung der beiden Planflächen ergeben, rechnerisch ausgewertet. <IMAGE>
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