发明名称 Procedure and device for absolute interferometric testing of flat surfaces.
摘要 Gegenstand der Erfindung ist ein einfaches Verfahren und eine Vorrichtung zur Absolutprüfung von Planflächen. Es sieht vor, daß gleichzeitig zwei Planflächen (A6, B6) unter schräger Inzidenz in den Meßstrahlengang eines Interferometers eingebracht werden. Es werden die Interferogramme, die sich bei unterschiedlichen Inzidenzwinkeln (α6, β6) und bei Verschiebung der beiden Planflächen ergeben, rechnerisch ausgewertet. <IMAGE>
申请公布号 EP0441153(A2) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 EP19910100644 申请日期 1991.01.19
申请人 FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, HANDELND ALS CARL ZEISS 发明人 KUECHEL, MICHAEL, DR.
分类号 G01B9/02;G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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