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发明名称 COUPLING STRUCTURE BETWEEN MICROWAVES AND PLASMA
摘要
申请公布号 EP0422430(A3) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 EP19900118205 申请日期 1990.09.21
申请人 TECHNICS PLASMA GMBH 发明人 MOEHL, WOLFGANG, DR.
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01P5/04;H01Q13/02;(IPC1-7):H01J23/36 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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