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发明名称 EXHAUST PIPE FOR PRODUCING DEVICE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03186339(A) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 JP19890325122 申请日期 1989.12.14
申请人 NEC CORP 发明人 SHINOZUKA NORIYASU
分类号 B01J3/02;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
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