| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DIFFUSION-TYPE SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03185717(A) |
申请公布日期 |
1991.08.13 |
| 申请号 |
JP19890324491 |
申请日期 |
1989.12.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
WAKASHIMA KIYOSHI;FURUSATO YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/22;C30B31/16;H01L21/223 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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