发明名称 VACCUM MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03185327(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 JP19890324997 申请日期 1989.12.15
申请人 SANWA MUSEN SOKKI KENKYUSHO:KK;NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KAMOSHITA MINORU;MIZUTANI TAKASHI
分类号 G01L21/00;H01L21/66 主分类号 G01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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