发明名称 MEMBER FOR TREATING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03185820(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 JP19890323861 申请日期 1989.12.15
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 KATO SHIGEO;TAZOE HARUO;TAN NOBUYUKI;ICHIKAWA HIROYUKI;MATSUDA SHOJI
分类号 H01L21/22;H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址