| 发明名称 |
SIMULATION APPARATUS OF THREE-DIMENSIONAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03185745(A) |
申请公布日期 |
1991.08.13 |
| 申请号 |
JP19890322674 |
申请日期 |
1989.12.14 |
| 申请人 |
GURAFUIKA:KK;KIMURA MASAYUKI |
发明人 |
ASO HIROTOMO;NARUTOMI TAKASHI;KIMURA MASAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/28;G06F17/50;H01L29/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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