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发明名称 METHOD OF MASK PREPARATION OF CHROMIUM NITRIDE ON SURFACE OF SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 CS9000312(A2) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 CS19900000312 申请日期 1990.01.22
申请人 SKOLNIK VACLAV ING.,CS;POPELIK JIRI ING.,CS;CUMPELIKOVA JANA RNDR.,CS;HOMOLA JAROSLAV RNDR. CSC.,CS;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.,CS 发明人 SKOLNIK VACLAV ING.,CS;POPELIK JIRI ING.,CS;CUMPELIKOVA JANA RNDR.,CS;HOMOLA JAROSLAV RNDR. CSC.,CS;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.,CS
分类号 H01L21/314;H01L21/32;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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