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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03185756(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 JP19890326274 申请日期 1989.12.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HARADA TERUAKI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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