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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH03185814(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 JP19890325035 申请日期 1989.12.15
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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