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发明名称
CONSTITUTION OF LOGIC INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH03185861(A)
申请公布日期
1991.08.13
申请号
JP19890323732
申请日期
1989.12.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATO HIROMASA;USAMI MITSUO
分类号
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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