发明名称 CONSTITUTION OF LOGIC INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03185861(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 JP19890323732 申请日期 1989.12.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATO HIROMASA;USAMI MITSUO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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