发明名称 PROBING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03185361(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 JP19890326290 申请日期 1989.12.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TERAMOTO KENJI;ADACHI KOHEI;IKEMOTO TETSUYA;TAKASAGO HAYATO
分类号 G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28;G09F9/00;H05K3/32 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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