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发明名称
FILM CARRIER, AND MOLDING METHOD USING SAME
摘要
申请公布号
JPH03184354(A)
申请公布日期
1991.08.12
申请号
JP19890324719
申请日期
1989.12.13
申请人
TOOWA KK
发明人
OSADA MICHIO
分类号
H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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