发明名称 FILM CARRIER, AND MOLDING METHOD USING SAME
摘要
申请公布号 JPH03184354(A) 申请公布日期 1991.08.12
申请号 JP19890324719 申请日期 1989.12.13
申请人 TOOWA KK 发明人 OSADA MICHIO
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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