发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03184361(A) 申请公布日期 1991.08.12
申请号 JP19890321513 申请日期 1989.12.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMASHITA TAKASHI
分类号 H01L21/768;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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