MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR,申请号JP19890321519-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号	JPH03184379(A)	申请公布日期	1991.08.12
申请号	JP19890321519	申请日期	1989.12.13
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	FUKUDA KAICHI
分类号	H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
主权项
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