| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03183130(A) |
申请公布日期 |
1991.08.09 |
| 申请号 |
JP19890322030 |
申请日期 |
1989.12.12 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
NIEDA AKIRA;SATO HIROSHI;SHIMANOE MUNEHARU |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
