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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03183970(A) 申请公布日期 1991.08.09
申请号 JP19890321478 申请日期 1989.12.13
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 TAKAHASHI SHINJI;WAKIHARA YOSHINORI
分类号 G01R31/28;G01R1/06;G01R31/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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