发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN MEMBRANE
摘要
申请公布号 JPH03183781(A) 申请公布日期 1991.08.09
申请号 JP19900211743 申请日期 1990.08.13
申请人 SAN GOBAN BITORAAJIYU INTERNATL 发明人 PIEERU BARIAN;JIYANNPOORU RUSOO
分类号 C23C16/00;C03C17/38;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/511 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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