发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN MEMBRANE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03183781(A) |
申请公布日期 |
1991.08.09 |
申请号 |
JP19900211743 |
申请日期 |
1990.08.13 |
申请人 |
SAN GOBAN BITORAAJIYU INTERNATL |
发明人 |
PIEERU BARIAN;JIYANNPOORU RUSOO |
分类号 |
C23C16/00;C03C17/38;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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