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发明名称 PRODUCTION OF HIGHER SILANE
摘要
申请公布号 JPH03183614(A) 申请公布日期 1991.08.09
申请号 JP19890321315 申请日期 1989.12.13
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 KITSUNO YUTAKA;YANO KOTARO;TAZAWA SHOICHI
分类号 C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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