发明名称 EXPOSING DEVICE FOR SHADOW MASK
摘要
申请公布号 JPH03182030(A) 申请公布日期 1991.08.08
申请号 JP19890319926 申请日期 1989.12.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SENO MITSURU;WAKAMATSU YASUO
分类号 G03F7/20;B21C47/16;H01J9/14 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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