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发明名称 HALBLEITEREINRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFUER
摘要
申请公布号 DE4100525(A1) 申请公布日期 1991.08.08
申请号 DE19914100525 申请日期 1991.01.10
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUURA, MASAZUMI;KOTANI, HIDEO;FUJII, ATSUHIRO;NAGAO, SHIGEO;GENJO, HIDEKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/02;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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