| 摘要 |
<p>Machine à micro-faisceau laser d'intervention sur des objets (18) à couches minces, comprenant un laser (10) couplé à un microscope (14), caractérisée en ce que le laser (10) est un laser pulsé à impulsions très brèves, et ayant une puissance moyenne faible. L'invention s'applique notamment à la découpe de couches thermiquement conductrices sur des circuits électroniques intégrés.</p> |
