| 摘要 |
Un détecteur à semi-conducteur (35) de pression utilise un diaphragme cassant (36) constitué d'un matériau tel que du silicium et monté entre des plaques de base en verre (37, 38), et qui se déforme en réponse à une pression. Les plaques de base en verre (37, 38) peuvent présenter des évidements (37A, 37B) pour recevoir le diaphragme (36) et constituer un support pour la totalité du diaphragme (36) lors de conditions de surpression et éviter de soumettre le diaphragme (36) à des contraintes excessives, ou bien le diaphragme (36) peut avoir des surfaces profilées (45, 46) pour former des surfaces d'arrêt de surpression contre la plaque de base opposée (37, 38). Le diaphragme (36) possède des rainures (43, 44) définissant une partie centrale (41) qui se déforme, et les rainures (43, 44) forment des âmes (42) joignant la partie centrale (41) à un bord externe (40) de sorte que le diaphragme (36) possède les mêmes caractéristiques de déflection que le diaphragme ''à bord libre''. Les rainures (43, 44) définissant les âmes (42) peuvent avoir diverses configurations pour obtenir les résultats désirés. |
