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发明名称 APPARATUS FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH03181848(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890323061 申请日期 1989.12.12
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKANO AKIHIKO
分类号 G01N23/223;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N23/223
代理机构 代理人
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