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发明名称 RADIATION-SENSITIVE POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0358871(A3) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 EP19890112360 申请日期 1989.07.06
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 OZAKI, HARUYOSHI;OI, FUMIO;UETANI, YASUNORI;HANABATA, MAKOTO;HIOKI, TAKESHI
分类号 G03F7/023;C07C39/16;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
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