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发明名称 SCANNING TUNNELING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH03181802(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890322941 申请日期 1989.12.12
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 TOMITA EISUKE
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q30/08;G01Q30/10;G01Q30/14;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q60/60;H01J37/20;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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