| 发明名称 |
REMOVING METHOD FOR SUSPENDIBLE IMPURITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03181385(A) |
申请公布日期 |
1991.08.07 |
| 申请号 |
JP19890318958 |
申请日期 |
1989.12.11 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KAWAZU HIDEO;HAGIWARA MASAHIRO;IZUMI TAKESHI |
| 分类号 |
C02F1/42;G21C19/307;G21F9/00;G21F9/12 |
主分类号 |
C02F1/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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