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发明名称 CHARGED PARTICLED ENERGY ANALYZER
摘要
申请公布号 EP0388959(A3) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 EP19900105443 申请日期 1990.03.22
申请人 TOSOH CORPORATION 发明人 KONO, SHOZO
分类号 G01Q10/00;G01Q70/10;H01J49/48;(IPC1-7):H01J49/48 主分类号 G01Q10/00
代理机构 代理人
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