摘要 |
Die Erfindung betrifft ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch und ein hieraus mit einem Schichtträger hergestelltes Aufzeichnungsmaterial. Das Gemisch enthält als wesentliche Bestandteile ein 1,2-Chinondiazid und/oder eine Kombination aus einer unter Einwirkung von aktinischer Strahlung starke Säure bildenden Verbindung und einer Verbindung mit mindestens einer spaltbaren C-O-C- Bindung und ein polymeres Bindemittel mit wiederkehrenden Einheiten der allgemeinen Formel I <IMAGE> worin R1: ein Wasserstoff- oder Halogenatom, eine Cyanid- oder eine Alkylgruppe, R2, R3: gleich oder verschieden sind und Wasserstoff, Alkyl- oder Arylgruppen, R4, R5 und R6: gleich oder verschieden sind und Wasserstoff-oder Halogenatome, Alkyl-, Alkoxy- oder Arylgruppen, X: die zur Vervollständigung eines ein- oder mehrkernigen carbocyclischen aromatischen Ringsytems erforderlichen Atome und; n: 1, 2 oder 3 bedeuten. Mit dem erfindungsgemäßen Gemisch ergeben sich Flachdruckplatten mit hoher Druckauflage, die man thermisch nachhärten kann und die gute Chemikalienbeständigkeit besitzen. Es können hiermit auch Photoresists mit hoher Wärmestandfestigkeit hergestellt werden.
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