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发明名称 FORMATION OF MULTI-LAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH03181134(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890321991 申请日期 1989.12.11
申请人 SHARP CORP 发明人 ABE SHUNJI
分类号 H01L21/768;H01L21/318;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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