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发明名称 LASER INTERFERING FLATNESS METER
摘要
申请公布号 SU1668864(A1) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 SU19894663317 申请日期 1989.03.16
申请人 SMIRNOV ALEKSEJ A,SU;SHARKIN ANATOLIJ M,SU;KARPOVA LYUBOV A,SU 发明人 SMIRNOV ALEKSEJ A,SU;SHARKIN ANATOLIJ M,SU;KARPOVA LYUBOV A,SU
分类号 G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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