发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03181130(A) |
申请公布日期 |
1991.08.07 |
申请号 |
JP19890322302 |
申请日期 |
1989.12.11 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KURAGAKI TAKESHI;MATSUOKA TAKASHI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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