发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03181153(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890320923 申请日期 1989.12.11
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 TATE HIROSHI;OTSUKA KANJI
分类号 H01L23/02 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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