发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03180070(A) 申请公布日期 1991.08.06
申请号 JP19890319256 申请日期 1989.12.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 FURUHATA TOMOYUKI
分类号 H01L21/762;H01L21/304;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
地址