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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03179722(A) 申请公布日期 1991.08.05
申请号 JP19890318483 申请日期 1989.12.07
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 INANO SHIGERU
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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