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发明名称 UNITARY PROBE TYPE ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH03179203(A) 申请公布日期 1991.08.05
申请号 JP19890317469 申请日期 1989.12.08
申请人 CANON INC 发明人 YAMANO AKIHIKO;NOSE HIROYASU;MIYAZAKI TOSHIHIKO;OGUCHI TAKAHIRO;SAKAI KUNIHIRO
分类号 G01B7/34;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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